半導体ガス供給系用圧力センサ「PA-920S/928Sシリーズ」の取り扱いを始めました。
主なターゲット市場として、半導体製造工程におけるCVD装置、
エッチング装置などのガス供給系に適しております。
特長
(1)小型で集積型ガスシステム/インライン側に最適
(2)製品形状はI型/T型、出力は2種類、継手は6種類
(3)コネクタ化により取付・配線が容易
(4)センサ素子と継手は溶接による一体構造
＜外部リンク：日本電産コパル電子＞
https://www.nidec-copal-electronics.com/j/information/page_46.html
